ভূমিকা: উচ্চ -গতির গতিশীলতা এবং চরম দৃঢ়তার প্রয়োজন
সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার পরিদর্শন, ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে (FPD) লিথোগ্রাফি, এবং উন্নত প্যাকেজিংয়ের উচ্চ-থ্রুপুট জগতে, পজিশনিং সিস্টেমগুলিকে অবশ্যই দুটি বিরোধপূর্ণ ইঞ্জিনিয়ারিং লক্ষ্যগুলির মধ্যে ভারসাম্য বজায় রাখতে হবে: চরম গতিশীল ত্বরণ এবং সাব-মাইক্রোন অবস্থানের পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা। যদিও বিশাল গ্রানাইট বেসগুলি একটি আদর্শ স্থির ভিত্তি প্রদান করে, সিস্টেমের চলমান অংশগুলি-যেমন গ্যান্ট্রি বিম, ক্রস-স্লাইড এবং ওয়েফার ট্রান্সলেশন স্টেজগুলি-জড়তা কমাতে, মোটর তাপ অপচয় কমাতে এবং নিষ্পত্তির সময় বিলম্ব রোধ করতে যতটা সম্ভব হালকা হতে হবে।
অ্যালুমিনিয়াম এবং টাইটানিয়ামের মতো ঐতিহ্যগত লাইটওয়েট ধাতুগুলি উচ্চ তাপীয় প্রসারণ এবং অপেক্ষাকৃত কম দৃঢ়তায় ভোগে, যার ফলে উচ্চ -ত্বরণ চলাকালীন গতিশীল ফ্লেক্সিং হয়। এই গতিশীল বাধাগুলি কাটিয়ে উঠতে, উন্নত সিস্টেম ডিজাইনাররা ক্রমবর্ধমান প্রযুক্তিগত সিরামিক ব্যবহার করছে। UNPARALLELED এর কাস্টম কাঠামোগত উপাদান এবংনির্ভুল বায়ু bearings, উচ্চ-বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনা এবং সিলিকন কার্বাইড (SiC) থেকে গড়া, উচ্চ গতির গতির ধাপগুলির জন্য আধুনিক উপাদান প্রকৌশলের শিখর প্রতিনিধিত্ব করে৷
সিলিকন কার্বাইড (SiC) বনাম ঐতিহ্যগত উপকরণ
কেন সিলিকন কার্বাইড উচ্চ-অ্যাক্সিলারেশন গ্যান্ট্রি সিস্টেমের জন্য পছন্দের উপাদান হয়ে উঠেছে তা বোঝার জন্য, আমাদের অবশ্যই এর নির্দিষ্ট কঠোরতা বিশ্লেষণ করতে হবে। নির্দিষ্ট দৃঢ়তা ইয়াং এর মডুলাস এবং ভর ঘনত্বের অনুপাত হিসাবে সংজ্ঞায়িত করা হয়:
নির্দিষ্ট দৃঢ়তা=যুবকের মডুলাস ঘনত্ব দ্বারা বিভক্ত
একটি উচ্চতর নির্দিষ্ট দৃঢ়তা মানে একটি উপাদান উচ্চ গতিশীল শক্তি সহ্য করতে পারে এবং সিস্টেমে অপ্রয়োজনীয় ভর যোগ না করে নমন প্রতিরোধ করতে পারে।
কাঠামোগত ইস্পাত: ঘন সেন্টিমিটার প্রতি 7.85 গ্রাম, 210 গিগা-পাস্কালের ইয়ং মডুলাস, 26.7 এর নির্দিষ্ট কঠোরতা, কেলভিন প্রতি 12.0 x 10^-6 এর তাপীয় প্রসারণের গুণাঙ্ক।
অ্যালুমিনিয়াম 6061: 2.70 গ্রাম প্রতি ঘন সেন্টিমিটারের ঘনত্ব, ইয়াং এর মডুলাস 69 গিগা-পাস্কাল, 25.5 এর নির্দিষ্ট কঠোরতা, কেলভিন প্রতি 23.0 x 10^-6 এর তাপীয় প্রসারণের গুণাঙ্ক।
অ্যালুমিনা (99 শতাংশ বিশুদ্ধ): ঘন সেন্টিমিটার প্রতি 3.90 গ্রাম, 370 গিগা-পাস্কালের ইয়ং মডুলাস, 94.8 এর নির্দিষ্ট কঠোরতা, কেলভিন প্রতি 8.0 x 10^-6 এর তাপীয় প্রসারণের গুণাঙ্ক।
সিলিকন কার্বাইড (SiC): 3.15 গ্রাম প্রতি ঘন সেন্টিমিটারের ঘনত্ব, 410 গিগা-পাস্কালের ইয়ং মডুলাস, 130.1 এর নির্দিষ্ট কঠোরতা, 4.0 x 10^-6 প্রতি কেলভিন এর তাপীয় প্রসারণের গুণাঙ্ক।
এই তুলনামূলক ডেটাতে দেখানো হয়েছে, সিলিকন কার্বাইড একটি নির্দিষ্ট দৃঢ়তা রয়েছে যা ইস্পাত বা অ্যালুমিনিয়ামের তুলনায় প্রায় পাঁচ গুণ বেশি। এই নাটকীয় শারীরিক সুবিধা অতুলনীয় ইঞ্জিনিয়ারদের ওয়েফার স্টেজের জন্য হালকা, ফাঁপা-কোর স্ট্রাকচারাল বিম ডিজাইন করতে দেয় যা 2g (যা প্রতি সেকেন্ডে প্রায় 19.6 মিটার) এর বেশি ত্বরণ হারে ফ্লেক্স, টুইস্ট বা ঝুলে যায় না।
নির্ভুল সিরামিক এয়ার বিয়ারিং এর ডিজাইন এবং ফিজিক্স
নির্ভুল এয়ার বিয়ারিংগুলি একটি চলমান পেলোডকে সমর্থন করার জন্য চাপযুক্ত পরিষ্কার শুষ্ক বায়ুর একটি পাতলা ফিল্ম ব্যবহার করে, সম্পূর্ণ ঘর্ষণহীন, শূন্য{0}} পরিধানের গতি অর্জন করে। এই বায়ু ফিল্মের পুরুত্ব সাধারণত 5 থেকে 10 মাইক্রোমিটারের মধ্যে হয়। যেহেতু এয়ার ফিল্মটি এত পাতলা, যেকোন জ্যামিতিক বিচ্যুতি, মাইক্রো-বিয়ারিং পৃষ্ঠের রুক্ষতা বা তাপীয় বিকৃতি বিয়ারিংটি বিপর্যস্ত হতে পারে, যার ফলে বিপর্যয়কর সিস্টেম ব্যর্থতা দেখা দিতে পারে।
অতুলনীয় উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা এবং সিলিকন কার্বাইড থেকে বায়ু বহনকারী উপাদান তৈরি করে এই চ্যালেঞ্জ মোকাবেলা করে৷ এই উপকরণগুলি বায়ু বহনকারী অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে বেশ কয়েকটি গুরুত্বপূর্ণ সুবিধা প্রদান করে:
চাপের মধ্যে মাত্রিক স্থিতিশীলতা: সিরামিকের উচ্চ স্থিতিস্থাপক মডুলাস নিশ্চিত করে যে বিয়ারিং মুখগুলি সংকুচিত বায়ু সরবরাহের উচ্চ স্থানীয় চাপের (প্রায়শই 0.6 মেগা-পাসকেল পর্যন্ত) বিকৃত না হয়।
স্ক্র্যাচ এবং পরিধান প্রতিরোধ: যদি একটি বিদ্যুত ব্যর্থতা ঘটে এবং বায়ু সরবরাহ হঠাৎ বন্ধ হয়ে যায়, তবে চলন্ত মঞ্চটি গাইড রেলের সাথে সরাসরি যোগাযোগ করবে। এই শুষ্ক-স্লাইডিং অবস্থার অধীনে, ধাতব বিয়ারিংগুলি তাত্ক্ষণিকভাবে পিত্ত এবং আটকে যাবে। সিরামিক গাইড রেলগুলি, তাদের চরম কঠোরতার সাথে, শূন্য স্ক্র্যাচিং বা পৃষ্ঠের ক্ষতি সহ উচ্চ গতির টাচডাউন ইভেন্টগুলি থেকে বাঁচতে পারে।
চমৎকার সারফেস ফিনিশ: ডায়মন্ড গ্রাইন্ডিং এবং রাসায়নিক-মেকানিক্যাল পলিশিং (CMP), অতুলনীয় ফিনিশ সিরামিক গাইড সারফেসকে 0.05 মাইক্রোমিটারের কম বা এর সমান Ra এর সারফেস রুক্ষ করে। ফিনিশের মতো এই আয়না-একটি সম্পূর্ণ অভিন্ন বায়ু ব্যবধান এবং উচ্চ অনুমানযোগ্য তরল ফিল্ম গতিশীলতার গ্যারান্টি দেয়।
কমপ্লেক্স সিরামিক জ্যামিতি উত্পাদন এবং গুণমান নিশ্চিত করা
সিন্টারিং এবং মেশিনিং প্রযুক্তিগত সিরামিক একটি অবিশ্বাস্যভাবে চাহিদাপূর্ণ প্রক্রিয়া। 2000 ডিগ্রি সেলসিয়াসের বেশি তাপমাত্রায় কাঁচা সিরামিক পাউডার সিন্টার করার ফলে উল্লেখযোগ্য সংকোচন ঘটে, যা অবশ্যই সাবধানে গণনা এবং নিয়ন্ত্রণ করতে হবে।
UNPARALLELLED-এ, আমাদের উত্পাদন সুবিধা স্টেট---আর্ট গ্রিন-স্টেট মেশিনিং সেন্টারে সজ্জিত রয়েছে যাতে সিরামিক উপাদানগুলিকে সিন্টারিং করার আগে আকৃতি দেওয়া হয়, তারপরে উচ্চ-নির্ভুল ডায়মন্ড গ্রাইন্ডিং সিস্টেমগুলি{{}5} আলহারটার অংশগুলি শেষ করার জন্য। আমরা জটিল জ্যামিতিক প্রোফাইল তৈরি করতে সক্ষম, যার মধ্যে রয়েছে ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য সমন্বিত ভ্যাকুয়াম চাক, মাল্টি-অক্ষ বায়ু-ভাসমান গাড়ি, এবং লেজার ইন্টারফেরোমেট্রির জন্য আল্ট্রা-ফ্ল্যাট রেফারেন্স মিরর।
সমস্ত চূড়ান্ত পণ্য আমাদের ISO-প্রত্যয়িত পরীক্ষাগারগুলিতে কঠোর পরীক্ষার সম্মুখীন হয়৷ লেজার ইন্টারফেরোমিটার এবং থ্রি-ডাইমেনশনাল কোঅর্ডিনেট মেজারিং মেশিন ব্যবহার করে, আমরা যাচাই করি যে প্রতিটি সিরামিক উপাদান তার নির্দিষ্ট জ্যামিতিক সহনশীলতা পূরণ করে, আপনার পরবর্তী-প্রজন্মের রৈখিক মোটর পর্যায়ে নির্বিঘ্ন ইন্টিগ্রেশন নিশ্চিত করে।